この装置は、電気再生型超純水生成装置です。
装置には、脱イオンモジュールが装備してあります。装着できるモジュールには下記に示す２つのタイプがあります。
１．陽イオンと陰イオンを同時に除去するタイプ；IR8020
２．２つは、電極間に、陽イオン除去部分と陰イオン除去分を備えたタイプ : ACR8020

IR8020を使用する場合は、純水中のイオン濃度を1 ug/Lまで下げることができます。ACR8020を使用する場合は、純水中のイオン濃度を1 ng/Lまで下げることができます。
脱イオンモジュールに純水を供給し、陽イオンと陰イオンを除去し超純水を生成します。この生成した超純水は、専用の容器に保存されます。この専用の容器は、空気中のガス成分（アンモニア、アミン類とCO2ガスなど）を透過しない容器です。長期間空気中のガスの影響を受けることなく保存することができます。