純水測定システム純水測定システムとして、超純水中の水素イオン濃度を連続的に測定する装置と、超純水中の微量陽イオン濃度を連続的に測定する装置と、超純水中の微量陽イオン濃度を連続的に測定する装置です。

現在、超純水中の不純物濃度を測定する装置には、pH計と電気伝導度検出器が使用されています。これらの装置には下記のような問題点がります。pH計は、溶液の電気伝導度が低い場合、参照電極からの電解質の溶出、ガラス電極の応答時間が遅い等の問題があります。電気伝導度検出器は、純水中の不純物イオン濃度を測定することができます。しかし、その不純物が陽イオンなのか陰イオンなのか、さらには、酸性溶液なのかアルカリ溶液なのかわかりません。

当社の純水測定システムは、インラインで連続的に陽and/or陰イオンを除去することができるイオン除去装置と、インラインで連続気に高純度な酸またはアルカリ溶液を生成することができる電解質溶液生成装置を備えています。イオン除去装置は、選択的に陽または陰イオンを除去し、NaイオンまたはClイオンを除去することで、5 mM NaOHまたは HCl溶液を生成することができます。また、電解質溶液生成装置は、電流を調整する簡単な操作で、純水中に目的濃度の陽または陰イオンを注入し高純度な酸またはアルカリ溶液を生成することができます。

 

陰イオン測定

陽イオン測定

水素濃度測定