現在、超純水中の不純物濃度を測定する装置には、pH計と電気伝導度検出器が使用されています。

pH計は、溶液の電気伝導度が低い場合、参照電極からの電解質の溶出、ガラス電極の応答時間が遅い等の問題があります。電気伝導度検出器では、純水中の不純物イオン濃度を測定することができます。しかし、その不純物が陽イオンなのか陰イオンなのか、さらには、酸性溶液なのかアルカリ溶液なのか確認することができません。

この装置は、超純水中の水素イオン濃度を連続的に測定する装置することができる装置です。この装置内には、脱イオン装置と、電解質溶液ジェネレーターを備えています。脱イオン装置に純水を流し、純水中に含まれる微量のイオンを完全に除去し、超純水を作成します。作成した超純水をジェネレーターに流します。ジェネレーターでは、一定電流条件下において、連続的に一定濃度の陽イオンまたは陰イオンを注入することができ、さらには、電流を調整することで、純水中に注入する陽イオンまたは陰イオンの量をグラジエントすることができます。ジェネレーターで生成した高純度な酸または、アルカリ溶液は、サンプル溶液とフェノールフタレイン溶液と混ざり反応し、フェノールフタレインの色が変化します。このフェノールフタレインの色の変化から、溶液の水素濃度を測定しています。